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貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘料什么都是可以回收再利用的。比如金靶材、銀靶材、鈀靶材等都可以回收再利用。以ITO銀靶材為例，生產加工時銀靶材會被打穿，產生的絲狀殘料這些都是可以回收再利用的，廢料上會沾染少量的銦，說是氧化用的，這種銦元素處理一下就可以了。所以含金、銀、鈀、鉑、銠這些貴金屬的靶材都可以回收再利用的，還有合金靶材之類的。
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